CS330質量流量控制器是七星華創流量計新研發的數字型產品,*高流量可達200SLM氮氣,并可實現數字/模擬控制模式;產品采用了新型全金屬密封結構形式、大流量、低壓損電磁調節閥、以及先進的人工智能機器人金屬表面拋光技術,可用于測量各種氣體的流量,包括惰性氣體、強腐蝕性氣體、易燃易爆等危險性氣體。產品具備精度高、響應速度快、低零漂、低溫漂性能等優點,并支持DeviceNet,RS485通訊協議。
查看詳細介紹CS200H質量流量控制器是七星流量計生產的數字型高溫產品,其電氣和機械部分采用分體式的設計,通過高溫線纜連接,可以實現在高溫環境下工作,能夠滿足復雜多變的半導體測量需求。
查看詳細介紹CS300氣體質量流量控制器是七星流量計專門為大規模集成電路裝備設計的產品,該產品在原有CS200氣體質量流上,采用了基于DF的壓力信號補小償算法,全量控制器的基礎新的金屬表面處理工藝,產品各項技術指標均嚴格按照SEM標準,支持Ⅵ型,C型GS氣路系統。
查看詳細介紹CS100數字氣體質量流量控制器是基于七星流量計CS系列產品技術平臺開發,在擁有恒功率傳感器技術,數字傳感器平衡技術,VCP線控制技術的基礎上,采用客戶定制化設計,客戶可根據需要選用符合自身需求的產品,同時其*創的客戶零點補唯功能(CGC),能夠解決由于客戶地線連接導致的MFC精度不準問題,使產品更好的適應客戶環境。
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